三、潔凈室的節(jié)能技術(shù)方案 

潔凈室是能量消耗大戶，這是因?yàn)橐３譂崈舻纳a(chǎn)環(huán)境所必需的空氣潔凈等級、壓差、溫度、相對濕度要求；防止污染的交叉污染，潔凈室內(nèi)應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品的生產(chǎn)過程的要求排除生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的粉塵、熱量、有機(jī)溶劑等所需的全室或局部排風(fēng)裝置，與此同時(shí)需向潔凈室內(nèi)送入相應(yīng)的或必需的室外新鮮空氣；根據(jù)不同的空氣潔凈度等級的要求需要有必須的換氣次數(shù)和送風(fēng)量。

據(jù)調(diào)查統(tǒng)計(jì)，大規(guī)模集成電路制造工廠潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)及其制冷機(jī)的耗電量約占工廠總耗電量的50%左右。

如上所述，潔凈廠房的耗能量是很大的，若潔凈室精心設(shè)計(jì)，周密規(guī)劃，節(jié)約能源、降低能量消耗也是可能的，節(jié)能的潛在容量不小。

針對潔凈室、凈化空調(diào)系統(tǒng)的運(yùn)行節(jié)能問題，可以有以下幾個(gè)解決方案：

1、潔凈廠房內(nèi)的工藝平面布置

盡可能采用潔凈小室、潔凈工作臺、層流罩、潔凈隧道、微環(huán)境等方式，降低別潔凈室面積，是減少能量消耗、節(jié)約能源的可行措施。研究證明，與傳統(tǒng)生產(chǎn)環(huán)境相比，微環(huán)境潔凈廠房的投資可節(jié)省40%，單單空氣輸送的費(fèi)用可節(jié)省70%。

2、在進(jìn)行建筑平面、立面設(shè)計(jì)時(shí)，應(yīng)努力貫徹節(jié)能要求

潔凈廠房的門窗設(shè)計(jì)的恰當(dāng)與否，是降低潔凈廠房建筑能耗的重要課題。這里先是控制好窗墻比，按潔凈室的特點(diǎn)盡量減少外墻上的窗面積，其次是門窗構(gòu)造的氣密性要求和材料選擇 可靠，以確保門窗的保溫（冷）效果和減少冷風(fēng)滲透，防止“冷橋”現(xiàn)象的發(fā)生。

3、降低潔凈室的熱（冷）負(fù)荷的技術(shù)措施

（1）根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求，確定合適的潔凈室內(nèi)空氣潔凈等級和溫度、相對濕度參數(shù)，在滿足生產(chǎn)工藝的前提下，從節(jié)約能源的角度出發(fā)，按不同工序和房間的不同要求確定空氣潔凈度等級、溫度、相對濕度參數(shù)，可能就低時(shí)盡可能采用較低的取值。

（2）在產(chǎn)品生產(chǎn)工藝提供者的密切配合下，準(zhǔn)確地確定潔凈室需設(shè)排風(fēng)裝置的房間或工序或生產(chǎn)設(shè)備的排風(fēng)量，這是由于潔凈室內(nèi)排風(fēng)量的增加，即意味著凈化空調(diào)系統(tǒng)的補(bǔ)充新風(fēng)量增加。廠房設(shè)計(jì)中有時(shí)會出現(xiàn)由于排風(fēng)量的增加使凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)量大于規(guī)定的新鮮空氣需用量，從而使設(shè)計(jì)的熱（冷）負(fù)荷增加，因此，準(zhǔn)確地確定潔凈室內(nèi)排風(fēng)量是降低能量消耗的重要技術(shù)措施之一。

4、減少凈化空調(diào)系統(tǒng)的送風(fēng)量和降低系統(tǒng)阻力的技術(shù)措施

（1）按生產(chǎn)工藝要求的不同空氣潔凈度等級和不同的工作時(shí)間、班次合理劃分凈化空調(diào)系統(tǒng)。但在制訂方案時(shí)應(yīng)認(rèn)真考慮減少管線長度，降低風(fēng)管阻力所必需采取的技術(shù)措施，做到既降低用電量又不能增加較多的建造費(fèi)用。

（2）合理組織凈化空調(diào)系統(tǒng)中各種空氣過濾器的設(shè)置，對較大型的潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)集中大小控制送風(fēng)量等。

（3）凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)合理利用回風(fēng)。在產(chǎn)品生產(chǎn)過程不產(chǎn)生有害物或不發(fā)生交叉污染時(shí)，凈化空調(diào)系統(tǒng)在保證新鮮空氣量和保持潔凈室規(guī)定的壓差值的條件下，為了減少能量消耗，應(yīng)盡量利用回風(fēng)。對于換氣次數(shù)大的單向流潔凈室，當(dāng)空調(diào)機(jī)房距單向流潔凈室較遠(yuǎn)時(shí)，可以采用一部分空氣不回機(jī)房而直接循環(huán)使用，可使能量消耗降低。

5、合理進(jìn)行凈化空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)管設(shè)計(jì)

風(fēng)管布置時(shí)應(yīng)盡量縮短風(fēng)管長度，減少不必要彎管、附件的設(shè)置，簡化風(fēng)管形狀，努力降低風(fēng)管系統(tǒng)的阻力，以減少能量消耗。

6、采用變流量控制風(fēng)量、水量

（1）根據(jù)檢測得到的潔凈室內(nèi)的塵粒數(shù)量，或房間壓力值控制調(diào)節(jié)送風(fēng)量。采用技術(shù)措施，有效的控制不工作的生產(chǎn)工序或房間的低送風(fēng)量。

（2）根據(jù)生產(chǎn)過程的特點(diǎn)，設(shè)置檢測、控制房間或設(shè)備的排風(fēng)裝置，按需要控制排風(fēng)量或開停排風(fēng)機(jī)或排風(fēng)閥。避免房間或設(shè)備不生產(chǎn)時(shí)仍開啟排風(fēng)機(jī)或排風(fēng)閥，消耗電能和增加不必要的送風(fēng)量。

（3）風(fēng)機(jī)、水泵合理的采用變頻機(jī)組，根據(jù)送風(fēng)量、供水量的多少，改變風(fēng)機(jī)、水泵的轉(zhuǎn)速，降低電能消耗。

（4）凈化空調(diào)系統(tǒng)的空調(diào)機(jī)組采用冷水量、熱水量或蒸汽量的變頻控制。 

四、結(jié)語 

本文涉及了空氣潔凈技術(shù)中的污染控制方案、研究方案以及節(jié)能方案三方面的內(nèi)容。我國空氣潔凈技術(shù)發(fā)展自60年代開始以來，目前已具各了相當(dāng)?shù)膶?shí)力，在某些理論研究和應(yīng)用方面已達(dá)到了水平。在生活現(xiàn)代化的同時(shí)，我們要重視室內(nèi)空氣的品質(zhì)。通過減少污染、通風(fēng)、空氣凈化、消毒、空氣成分的調(diào)節(jié)與控制等措施，可減少室內(nèi)空氣污染，減少疾病，提高人們的生活質(zhì)量。

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