潔凈室風口現(xiàn)場檢漏

——氣溶膠光度計法與粒子計數(shù)法的對比探討

本文通過對比試驗對氣溶膠光度計法與粒子計數(shù)法這兩種測試方法的技術(shù)與經(jīng)驗進行了相關探討，其試驗結(jié)論對于提高目前風口檢漏的檢測水平起到了積極的推動作用。

根據(jù)GB50591-2010潔凈室施工及驗收規(guī)范，ISO14644標準以及SFDA、GMP的要求，過濾器安裝后，贏對其進行檢漏測試，以檢查過濾器的密封墊、框架及過濾器濾材等處的密封性并定期進行過濾器的檢漏試驗，確保其符合要求。它是保證車間潔凈環(huán)境的重要手段之一。

根據(jù)ISO14644-3.B.6給出的測試方法，風口檢漏試驗一般采用氣溶膠光度計法和離散粒子計數(shù)法。

氣溶膠光度計法與粒子計數(shù)法的測試區(qū)別

氣溶膠光度計法使用的測量儀器是氣溶膠光度計。氣溶膠光度計是一種前散射線性光度計。它友真空泵、光散射室、光電倍增管、信號處理轉(zhuǎn)換器和微處理器等組成。其工作原理是當氣流被真空泵抽光散射室時，其中的顆粒物質(zhì)散射光線光電倍增管。在光電倍增管中，光被轉(zhuǎn)換成電信號，此信號經(jīng)放大和數(shù)字化后由微處理器分析，從而測定散射光的強度。通過與參比物質(zhì)產(chǎn)生的信號對比，可以直接測量氣體中顆粒物質(zhì)的質(zhì)量濃度。檢漏使用的塵源是聚α烯烴（PAO）。光度計測量結(jié)果顯示的是ug/L（毫克/升）。

粒子計數(shù)器法使用的測量儀器是粒子計數(shù)器。粒子計數(shù)器的工作原理是講來自光源的光線被透鏡組聚焦于測量腔內(nèi)。當空氣中的每一個粒子快速的通過測量腔時，便把入射光散射一次，形成一個光脈沖信號。這一光信號經(jīng)過透鏡組被送到光檢測器。正比轉(zhuǎn)換成電脈沖信號，再經(jīng)過儀器電子線路的放大、甄別、揀出需要的信號，通過計數(shù)系統(tǒng)顯示出來，得知空氣中微粒的粒徑和個數(shù)。檢漏使用的成員是癸二酸二（2-乙基己基）酯DEHS。粒子計數(shù)器結(jié)果顯示的是：粒徑的粒子數(shù)，單位為顆/28.3L。

氣溶膠光度計法與粒子計數(shù)器法檢漏的對比試驗

之前有進行過氣溶膠光度計法與粒子計數(shù)器法檢漏的對比試驗。試驗對象為規(guī)格1190*650的層流罩，過濾器采用反液槽密封無隔板過濾器，尺寸規(guī)格484*484*70，四面加500mm寬防靜電軟簾圍擋。

試驗結(jié)論

l 氣溶膠光度計法操作簡便，相對粒子計數(shù)器法使用方便。

l 用PAO測試時，光度計的上游濃度為2ug/L，相當于粒子計數(shù)器為1200萬顆/28.3L，計數(shù)法能在下游檢測出漏點，而用光度計無法檢測出漏點，用DEHS測試時，被測結(jié)果與上述數(shù)據(jù)一致，說明計數(shù)法更靈敏。

l 在同樣的漏點被檢測出時，光度計法所需要上游濃度要比粒子計數(shù)法大100倍左右，這就造成了對過濾器和環(huán)境的污染。濃度越大，噴霧時間長的花，會有微小油滴聚集。

l 用計數(shù)器法對過濾器檢漏，上游所需發(fā)塵濃度低，下游探測靈敏度高，相對光度計法污染低。

l 用計數(shù)器法克直接現(xiàn)場打印數(shù)據(jù)，得到粒子粒徑數(shù)，便于追查漏點原因，而光度計法則無現(xiàn)場打印功能，無粒徑概念，對超不合適。

l 推薦使用氣溶膠：DEHS，更經(jīng)濟實惠，而且符合標準要求。

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